X射线光电子能谱XPS测试常见误差来源有哪些？

　　样品本身污染，在样品制备、保存或者测试过程中被空气或周围样品污染;

　　样品不均匀，因为测试区域仅几百微米，测试深度仅几个纳米，不同位置结果差别可能比较大;

　　是半定量结果，和元素实际含量会有出入。XPS是表面分析技术，测试的是表面几个纳米深度的信息，不代表整个样品。

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