从质谱角度可分为:正离子模式和负离子模式,根据关注的离子类型,选择合适的测试模式。
从测试深度可分为:mapping和深度剖析,mapping得到样品表面或内部某处2D元素分布图,深度剖析可以得到测试区域内,元素随样品深度的3D分布图或分布曲线。
来源:网络
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