一般可以进行酸洗和预溅射处理,或者使用高纯钽刀刮除表面层;具体需要根据样品情况选择合适的预清洁。设备通过更换透镜等操作降低污染;制样一般通过酸洗来去除表面污染。
来源:网络
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