二次离子质谱仪（SIMS）有哪些类型？主要用于哪些领域？

　　i. 飞行时间二次离子质谱仪(TOF-SIMS)：通过用一次离子激发样品表面，打出极其微量的二次离子，根据二次离子因不同的质量而飞行到探测器的时间不同来测定离子质量的极高分辨率的测量技术。作为z前沿实用的表面分析技术之一，可以通过离子束对样品表面进行轰击产生的二次离子可以精确确定表面元素的构成;通过对分子离子峰和官能团碎片的分析可以方便的确定表面化合物和有机样品的结构;配合样品表面扫描和剥离，可以得到样品表面甚至三维的成分图，是表征元素和化合物空间结构的有力工具，是高灵敏，高分辨质谱成像分析的重要技术平台。主要用于有机样品的表面分析，如生物药品的有机物分析、半导体材料的污染分析、储能材料分析及有机分子碎片鉴定等。随着技术的改善，分析区域越来越小，TOF-SIMS在材料成分、掺杂和杂质污染等方面的分析中逐渐拥有不可替代的地位。

　　ii. 动态二次离子质谱仪(D-SIMS)：通过用一次离子激发样品表面，打出极其微量的二次离子，根据二次离子的质量来测定元素种类，具有极高分辨率和检出限的表面分析技术。D-SIMS可以提供表面，薄膜，界面以至于三维样品的元素结构信息，其特点在二次离子来自表面单个原子层(1nm以内)，仅带出表面的化学信息，具有分析区域小、分析深度浅和检出限高的特点，广泛应用于物理，化学，微电子，生物，制药，空间分析等工业和研究方面。

　　iii. 二次离子探针质谱仪(Nano-SIMS)：与传统的二次离子探针质谱仪的工作原理类似。利用离子源产生的一次离子，加速形成能量为1-20KeV的一次离子束轰击固体样品表面，激发(溅射)出正、负二次离子，再利用磁场分离具有不同质荷比的二次离子，然后用法拉第杯或电子倍增器测量它们的强度，z后通过测量值计算固体表面所含元素及同位素的丰度。能够对天然矿物、固体材料或生物组织的微区或微小颗粒，进行原位的同位素和微量元素分析，并能对一微区内元素和同位素的分布进行扫描成像。目前，在国际上NanoSIMS已被广泛应用于比较行星学、地球科学、材料科学和生物医学研究中。

来源：网络