半导体掺杂浓度可以用D-SIMS测试吗？

更新时间：2024-10-25 所属栏目：行业信息

　　可以。半导体的掺杂浓度，比如说掺硼、掺磷、掺砷、掺铝这些扩散，都可以用D-SIMS测试。因为D-SIMS对应的叫动态匹配，低浓度到高浓度的范围还是比较广的，最重要是低浓度。

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