常用手段
电测:连接性测试、电参数测试、功能测试等。
制样技术:开封技术(机械开封、化学开封、激光开封)、去钝化层技术(化学腐蚀去钝化层、等离子腐蚀去钝化层、机械研磨去钝化层)、微区分析技术(FIB、CP)等。
显微形貌分析:光学显微分析技术、扫描电子显微镜二次电子像技术等。
表面元素分析:扫描电镜及能谱分析(SEM/EDS)、俄歇电子能谱分析(AES)、X射线光电子能谱分析(XPS)、二次离子质谱分析(SIMS)等。
无损分析技术:X射线透视技术、三维透视技术、反射式扫描声学显微技术(C-SAM)等。
来源:网络
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