详情介绍

　　项目介绍

　　HRXRD是一种基于XRD的一种新型测试模式，广泛用于单晶质量、外延薄膜的厚度、组分、晶胞参数、缺陷、失配、弛豫、应力等结构参数的测试。

　　样品要求

　　薄片材料，测量面平整，厚度测量要求薄膜与衬底电子密度有明显差别且粗糙度尽量小。